EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT220F

EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT220F

渦輪分子泵應用領域

半導體制造：在半導體生產(chǎn)過程中，渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝，提供高潔凈度的真空環(huán)境。

科學研究：在粒子加速器、核聚變實驗、表面物理和材料科學等領域，渦輪分子泵用于實現(xiàn)高真空環(huán)境。

航空航天：用于模擬太空環(huán)境，測試航天器部件在真空條件下的性能。

光學鍍膜：在光學鏡片、濾光片和激光元件的鍍膜工藝中，渦輪分子泵提供無污染的真空條件。

分析儀器：用于質(zhì)譜儀、電子顯微鏡和同步輻射裝置等精密儀器中，確保高真空環(huán)境的穩(wěn)定性。

醫(yī)療設備：在放射性同位素生產(chǎn)和醫(yī)療成像設備中，渦輪分子泵用于維持高真空環(huán)境。

渦輪分子泵特點

高轉(zhuǎn)速：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速通常高達每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)，甚至過10萬轉(zhuǎn)，以確保氣體分子能夠被有效捕捉和排出。

無油污染：與油封式真空泵不同，渦輪分子泵在運行過程中無需油液潤滑，避免了油蒸氣對真空環(huán)境的污染，特別適合高潔凈度要求的應用。

寬壓力范圍：渦輪分子泵能夠在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范圍內(nèi)高效工作，與前置泵配合可實現(xiàn)從大氣壓到高真空的抽氣。

EBARA（荏原制作所）是日本*的工業(yè)設備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術積淀，荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎設施提供創(chuàng)新解決方案”為使命，業(yè)務涵蓋水泵、風機、壓縮機、環(huán)保設備及能源系統(tǒng)等領域，產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術聞名全球。
核心業(yè)務與技術優(yōu)勢
荏原的核心產(chǎn)品包括：
流體機械：全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案，廣泛應用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領域，其高效節(jié)能設計顯著降低碳排放。
環(huán)境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術，助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設備：蒸汽輪機、燃氣壓縮機等產(chǎn)品服務于石油、化工及新能源產(chǎn)業(yè)。
半導體制造設備：高純度真空泵等產(chǎn)品支撐電子行業(yè)精密制造。