層流凈化電子廠恒溫?zé)o塵車間潔凈度檢測(cè)第三方檢測(cè)報(bào)告--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   千級(jí)無(wú)塵車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200（pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3)；百級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下?？梢钥闯鰸崈舳鹊燃?jí)越高的車間，標(biāo)準(zhǔn)也更高，要求車間內(nèi)的塵埃粒子數(shù)量更少，這樣無(wú)塵車間才能更潔凈。

電子廠的潔凈度直接影響到電子產(chǎn)品的質(zhì)量，采用一次送風(fēng)和二次風(fēng)兩種送風(fēng)系統(tǒng)。采用大量FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組逐層凈化空氣，達(dá)到更衣室8級(jí)、走廊7級(jí)、生產(chǎn)車間6級(jí)，局部需要在5級(jí)或4級(jí)間，工程竣工之后需進(jìn)行靜態(tài)驗(yàn)收。

電子廠恒溫?zé)o塵車間潔凈度檢測(cè) 十萬(wàn)級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過(guò)3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不得過(guò)20000個(gè)；萬(wàn)級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過(guò)350000個(gè)，直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過(guò)2000個(gè)；

電子廠的潔凈度直接影響到電子產(chǎn)品的質(zhì)量，采用一次送風(fēng)和二次風(fēng)兩種送風(fēng)系統(tǒng)。采用大量FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組逐層凈化空氣，達(dá)到更衣室8級(jí)、走廊7級(jí)、生產(chǎn)車間6級(jí)，局部需要在5級(jí)或4級(jí)間，工程竣工之后需進(jìn)行靜態(tài)驗(yàn)收。

在電子潔凈廠房高能效過(guò)濾器的應(yīng)用上，電子凈化工程嚴(yán)格依照規(guī)定在潔凈度10萬(wàn)級(jí)或高于10萬(wàn)級(jí)以上的空氣凈化處理，應(yīng)采用初效、中效、高能效過(guò)濾器的三個(gè)等級(jí)過(guò)濾。而我們?cè)谀碀崈艄こ舔?yàn)證過(guò)程中，某電子潔凈廠房工程在萬(wàn)級(jí)的凈化級(jí)別上，采用亞高能效空氣過(guò)濾器代替高能效空氣過(guò)濾器，造成了潔凈度不合格，*終更換了高能效過(guò)濾器，才符合需要達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。  　生物安全實(shí)驗(yàn)室：國(guó)制定了相關(guān)的安全規(guī)程，潔凈室檢測(cè)工程凈化設(shè)備采用生物安全隔離服和獨(dú)立供氧系統(tǒng)。廢液、廢氣統(tǒng)一凈化通過(guò)嚴(yán)密性試驗(yàn)之后處理，采用密閉隔離器、負(fù)壓二次屏障系統(tǒng)，保證人身安全，并制定良好的生物安全實(shí)驗(yàn)室凈化管理規(guī)定。

電子廠恒溫?zé)o塵車間潔凈度檢測(cè)  因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō)，電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。此時(shí)，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。

對(duì)于無(wú)塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

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