ULVAC愛發(fā)科 機械增壓泵 MBS-053
ULVAC愛發(fā)科 機械增壓泵 MBS-053
ULVAC愛發(fā)科 機械增壓泵 MBS-053
機械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。
通過與油旋轉(zhuǎn)真空泵或干泵等粗抽泵組合使用，在粗抽泵抽速下降的壓力范圍內(nèi)，可以顯著提高粗抽泵的抽速。
應用于半導體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞測試、太空探測、真空浸漬、真空干燥等眾多領域。
通用型機械式增壓泵
羅茨型 / 有效排氣速度顯示 / 具有各種保護功能
長處
這是一種小型羅茨型真空泵。
在輔助泵抽速降低的壓力范圍內(nèi)，可以顯著提高抽速。
通過采用直流無刷電機，它可以從大氣壓中排出真空，因為它根據(jù)負載以*轉(zhuǎn)速運行。
磁耦合結(jié)構(gòu)確保油不會泄漏到泵外部。
泵內(nèi)部的密封采用非接觸式密封，大大減少了機械損失。
（與以前的型號相比，功耗降低了約 60%）
通過切換驅(qū)動器盒內(nèi)的電源，可以在 100V 和 200V 系統(tǒng)下運行。
規(guī)范
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用法說明
1機械增壓泵不能單獨使用。 請務必將其與輔助泵組合使用。
2機械增壓泵專為在線使用而設計。
將法蘭固定在排放側(cè)，并將泵安裝在該法蘭上。
3如果長時間未運行，在初次運行中，潤滑油在啟動時會起泡，因此請使用輔助泵排氣進行脫氣。
4在大氣壓附近運行與輔助泵的抽速大致相同，因此增壓泵的特性不顯現(xiàn)。
5當潤滑油量過規(guī)定量時，油會進入轉(zhuǎn)子室內(nèi)部。
6請務必檢查電源電壓是否與泵的設定電壓相匹配。
7它沒有配備用于安裝泵的底座。 法蘭是固定的。
8它沒有配備用于攜帶泵的手柄。
9電源線和應力消除裝置是可選的。
10消耗品需要定期維護。
