ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵 PRC-012A

2025/06/28 15:40:33

機械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。

通過與油旋轉(zhuǎn)真空泵或干泵等粗抽泵組合使用，在粗抽泵抽速下降的壓力范圍內(nèi)，可以顯著提高粗抽泵的抽速。

應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞測試、太空探測、真空浸漬、真空干燥等眾多領(lǐng)域。

ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵 PRC-012A

通用型機械式增壓泵

“Model：PRC” 是一種機械式增壓泵，主要用于需要特別清潔度的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。

采用封閉電機，油不會從軸封中泄漏。也可以選擇大氣壓驅(qū)動類型作為選項。

長處

由于無

油套管腔中沒有潤滑油，因此即使對水蒸氣等蒸汽和溶劑也能獲得穩(wěn)定的性能。

屏蔽電機通過采用屏蔽電機，

我們能夠消除大氣/真空的機械密封。無需擔心漏油，可在清潔的環(huán)境中使用。

具有優(yōu)異耐腐蝕性的

表面處理主要部件采用陽極氧化處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異，抑制了泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。還提供可選的表面處理。

由于它可以與常壓驅(qū)動型（選項：變頻）

粗抽泵同時啟動，從而有效地縮短了抽氣時間，因此與標準型相比，可以縮短排氣時間。

除了針對特殊應(yīng)用的標準可選支持

外，還提供用于特殊應(yīng)用的型號。

型號 *1			PRC-003A 系列	PRC-006A 系列	PRC-012A 系列	PRC-018A 系列
*抽速		50 赫茲	280米3/h （4670 升/分鐘）	500 米3/h （8330 升/分鐘）	1000 米3/h （16700 升/分鐘）	1500米3 /h （25000 升/分鐘）
		60 赫茲	330 米3/h （5500 升/分鐘）	600米3/h （10000 升/分鐘）	1200米3/h （20000 升/分鐘）	1800 米3/h （30000 升/分鐘）
*吸入壓力		50 赫茲	1.2 x 103 帕	1.3 x 103 帕		1.2 x 103 帕
		60 赫茲	約9.3 x 102 帕	1.1 x 103 帕		約9.3 x 102 帕
*允許壓差		50 赫茲	4.0 x 103 帕	7.3 x 103 帕		4.3 x 103 帕
		60 赫茲	3.3 x 103 帕	6.0 x 103 帕		3.2 x 103 帕
極限壓力 *2			4.0 x 10-1 帕		6.7 x 10-1 帕
可驅(qū)動壓力			~1.0 x 105 PA （大氣壓力驅(qū)動）
電機 *3	格式		屏蔽式三相異步電動機
	高效級		ー
	輸出		0.75 kW （2 極）	2.2 kW （2 極數(shù)）	3.7 kW （2 極數(shù)）	5.5 kW （2 極）
	電壓（200V 級電機）	50 赫茲	200 伏
		60 赫茲	200/220 伏
使用油 *4			ULVOIL R-42
所需油量			0.7 升	1.5 升	1.9 升
冷卻方式			水冷式
冷卻水	入口壓力		0.3 米帕
	入口壓差		0.01 Mpa 或更高
	冷卻水量		2 升/分鐘		3 升/分鐘
	冷卻水溫度 *5		5 ~ 30 °C
進氣口 JIS-B-2290			VG80 等效值		VG100 等效值	相當于 VG150
排氣孔 JIS-B-2290			相當于 VF80			相當于 VF100
尺寸 W×D×H *6			296×575×260 毫米	356×619×320 毫米	406×759×340 毫米	406×989×340 毫米
質(zhì)量			51 千克	86 千克	118 千克	150 千克
標準輔助泵			VD60C 系列	VD90C 系列	VS2401 系列	VS2401 系列
標準配件			使用說明書 1 份，1 單位油

用

氣相沉積、濺射、離子鍍

真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

分析儀器，泄漏測試設(shè)備

氣體置換、填充、真空絕熱

熱處理爐、熔煉爐

其他真空設(shè)備

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